平面度，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差。

平面度誤差是將被測(cè)實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過(guò)測(cè)量實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對(duì)高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。

在傳統(tǒng)的檢測(cè)方法中，平面度的測(cè)量通常有：塞規(guī)/塞尺測(cè)量法、液平面法、激光平面干涉儀測(cè)量法（平晶干涉法）、水平儀/數(shù)字水平儀測(cè)量法、以及打表測(cè)量法。

塞尺測(cè)量法  

塞尺主要用于間隙間距的測(cè)量，對(duì)平面度的測(cè)量只能進(jìn)行粗測(cè)。塞尺使用前必須先清除塞尺和工件上的污垢與灰塵。使用時(shí)可用一片或數(shù)片重疊插入間隙，以稍感拖滯為宜。測(cè)量時(shí)動(dòng)作要輕，不允許硬插。也不允許測(cè)量溫度較高的零件。目前很多工廠仍使用該方法進(jìn)行檢測(cè)。由于其精度不高，常規(guī)最薄塞尺為10um，檢測(cè)效率較低，結(jié)果不夠全面，只能檢測(cè)零件邊緣。

液平面法

液平面法是用液平面作為測(cè)量基準(zhǔn)面，液平面由 “連通罐"內(nèi)的液面構(gòu)成，然后用傳感器進(jìn)行測(cè)量。基于連通器工作原理，適合測(cè)量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度，但測(cè)量時(shí)間長(zhǎng)，且對(duì)溫度敏感，僅適用于測(cè)量精度較低的平面。

激光平面干涉儀測(cè)量法

典型的用法是平晶干涉法，用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測(cè)表面的平面度誤差值，但主要于測(cè)量光潔的小平面的測(cè)量，如千分頭測(cè)量面，量規(guī)的工作面，光學(xué)透鏡。激光干涉儀現(xiàn)因其體積小，重量輕、無(wú)需外接電源的特點(diǎn)被廣泛地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)，光學(xué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及其他要進(jìn)行光學(xué)表面檢測(cè)的場(chǎng)合。